CIF實驗室型等離子清洗機CPC-F系列

                            CIF 推出的新一代科研型等離子清洗設備,合理的結構設計,優化的腔體尺寸,使得處理樣品更大,適用范圍更廣。 產品性能穩定,操作簡單方便,易維護。

                            更新時間:2024-04-09 09:11:47
                          1. 詳細信息
                          應用領域:
                          等離子清洗設備廣泛應用于材料學、微電子、半導體、線 路板、LED、微流控、光電太陽能、生物醫學等領域,主要用 于材料表面進行清洗、改性、刻蝕等目的。1710742555393.jpg

                           產品特點

                          ◆  7 寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面,自動控制監測工藝參數狀態,20 個配方程序,工藝數據可存儲追溯。

                          ◆  PLC 控制整個清洗過程,手動、自動兩種工作模式。

                          ◆  用美國德威爾(Dwyer)氣體浮子流量計或質量流量計  (CPC-FM),可輸入氧氣、氬氣、氮氣、氫氣或混合氣等氣體,氣體控制準確。

                          ◆  氣體返填吹掃,HEPA 高效過濾,防止二次污染。

                          ◆  316 不銹鋼、石英真空艙可選擇,全真空管路系統采用316 不銹鋼材質,耐腐蝕無污染。

                          ◆  采用 60 度傾角操作面板設計,符合人體功能學,操作方 便,界面友好。

                          ◆  上控制下艙體結構設計,結構緊湊,占地空間小。

                          ◆  內凹式前面板設計,有效保護流量計和艙門不易損壞。

                          ◆  處理快速高效均勻,無污染,工藝重復性好。

                          ◆  樣品處理溫度低,無熱損傷和熱氧化。

                          ◆  安全保護,艙門打開,自動關閉電源。

                          技術參數

                          型號

                          CPC-F

                          CPC-Fplus

                          CPC-FM

                          CPC-FMplus

                          射頻電源

                          40KHz

                          13.56MHz

                          40KHz

                          13.56MHz

                          射頻功率

                          0-600W

                          0-150W

                          0-600W

                          0-150W

                          匹配器

                          自動匹配器

                          自動匹配器

                          激發方式

                          電容式或電感耦合(ICP)

                          電容式或電感耦合(ICP)

                          氣體控制

                          雙浮子流量計

                          單路 MFC(可選兩路)

                          艙體尺寸

                          D200xΦ155mm

                          D200xΦ155mm

                          艙體材質

                          不銹鋼或石英玻璃

                          不銹鋼或石英玻璃

                          艙體容積

                          3.8L-5L

                          3.8L-5L

                          有效處理尺寸

                          L200xW155mm

                          L200xW155mm

                          時間設定

                          9999 秒

                          9999 秒

                          真空泵

                          抽速 4m3/h

                          抽速 4m3/h

                          氣體穩定時間

                          1 分鐘

                          1 分鐘

                          真空度

                          100pa 以內

                          100pa 以內

                            

                          AC220V 50/60Hz 766/316W

                          AC220V 50/60Hz  752/302W

                          產品尺寸

                          L440xW410xH455mm

                          L440xW410xH455mm

                          包裝尺寸

                          L560xW560xH685mm

                          L560xW560xH685mm

                          整機重量

                          32kg

                          32kg

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