CIF實驗室型等離子清洗機CPC-G系列

                            CIF推出全新一代 CPC-G系列實驗室型等離子體清洗設備, 顛覆傳統等離子體清洗設備設計理念。具有較大的腔體尺寸和有效樣 品處理面積, 使用成本低, 性價比高, 處理快速高效, 特別適合于大學, 科研院所和光電企業實驗室小批量中試生產。

                            更新時間:2024-03-26 16:10:22
                          1. 詳細信息

                          產品特點:

                          ◆ ?7 寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面,自動控制監測工藝參數狀態,20 個配方程序,工藝數據可存儲追溯。

                          ◆ ?PLC 工控機控制整個清洗過程,手動、自動兩種工作模式。

                          ◆ ?石英真空艙,真空管路系統采用 316 不銹鋼材質,耐腐蝕無污染。

                          ◆ ?采用質量流量計,實現對氣體輸入精準控制,改變傳統浮子流量計控制氣體流量不準確問題。

                          ◆ ?HEPA 高效過濾,氣體返填吹掃,防止二次污染。

                          ◆ ?60 度傾角操作界面設計,符合人體功能學,操作方便,界面友好。

                          ◆ ?頂置真空艙,上開蓋設計,下壓式鉸鏈開關方式,開關蓋方便。

                          ◆ ?采用花灑式多孔進氣方式,改變傳統等離子清洗機單孔進氣不均勻問題。

                          ◆ ?上置式 360 度自由水平取放樣品托盤設計,符合人體功能學,操作更方便。

                          ◆ ?有效清洗面積大,可清洗最大直徑 8 吋硅片。

                          ◆ ?安全保護,艙門打開,自動關閉電源。


                          技術參數:

                          ?

                          型號

                          CPC-G

                          CPC-Gplus

                          射頻電源

                          40KHz

                          13.56MHz

                          射頻功率

                          0-600W

                          0-150W

                          匹配器

                          自動匹配

                          激發方式

                          電容式

                          氣體控制

                          單路 MFC(可選兩路)

                          艙體尺寸

                          H100xΦ269mm

                          艙體容積

                          5.6L

                          艙體材質

                          石英玻璃

                          有效處理尺寸

                          Φ269mm?圓盤

                          時間設定

                          9999 秒

                          真空泵

                          抽速 4m3/h

                          氣體穩定時間

                          1 分鐘

                          真空度

                          100pa?以內

                          ???

                          AC220V 50/60Hz ?752/302W

                          產品尺寸

                          L425xW480xH445mm

                          包裝尺寸

                          L550xW630xH700mm

                          整機重量

                          30kg

                          ?
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